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划片机冷水机如何选择

2019-11-29

划片机是精密切割类设备,是通过高速旋转的空气悬浮式主轴,带动超薄砂轮片进行切割,以每分钟3万到6万的转速划切晶圆,同时承载着晶圆的工作台以一定的速度沿刀片与晶圆接触点的划切线方向呈直线运动,将每一个具有独立电气的芯片分裂出来。

 

划片机

 

由于在划切中主轴高速旋转,在切割材料时,刀片与材料的接触处会产生很高的温度,稳定的划切冷却水流量不仅在划切过程中起到冷却刀片的作用,还可以防止电击、电弧现象发生,同时冲掉划切过程中碾碎的碎粒,减少芯片表面的碎屑污染,提高划切品质,如果冷却水在划切过程中突然减少就会出现刀痕突然加深,严重时划伤工作台、刀体打火、刀痕烧糊、刀体卡在芯片中、损毁刀具,以至于芯片报废,只有冷却水的流量和温度达到稳定时,划切品质才能达到最佳。

 

由此可见划片机设备在冷却水的制冷参数等方面要求都非常高,而同洲维普AC系列冷水机是专为划片机设备打造,该产品具有多重可选净化水质的配置,确保水质洁净,而且拥有多种检测与报警功能,可提供水流报警保护、水位报警保护、超温报警保护,并可提供并行接口,通过开关信号控制冷水机启停输出报警信号的开关量等特性。


划片机冷水机

采用不锈钢开口浴槽,可方便观察水质,便于清洗,避免水质污染,内置前置过滤器,可直观观察滤芯脏污情况,方便及时更换,标配水位传感器,可选装水流开关传感器,高低温报警信号输出,采用全不锈钢管件及水泵,也可选配树脂过滤器循环纯净水,保证水质长期稳定,后置排风散热良好,机身运行无发热现象,节能、减震、噪音低,上述产品特性能够满足划片机对冷却水参数的严苛要求,所以选择同洲维普AC系列产品作为划片机冷水机是非常合适的。

 

不仅如此,同洲维普AC系列冷水机还可应用于原子吸收分光光度计、等离子发射光谱、扫描电子显微镜、高频熔样机、手套箱、等离子刻蚀机、直读光谱仪、凯氏定氮仪等实验室设备。



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