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离子注入机冷水机配套应用

2019-09-27

不管是什么仪器设备,只要是做功状态就会产生热量,如果不将这部分热量散发掉,久而久之就会影响主设备的正常运行,拿离子注入机来说,在其工作的过程中同样也会因各种原因产生热量,这时候制冷控温就是非常重要的一件事情,用来保护主设备脆弱的的零部件让其安全运行,或者辅助主设备得到想要的结果,下面就为您介绍下离子注入机冷水机的实际配套应用。


离子注入机是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体材料的离子注入,或金属材料表面改性和制膜的设备。


离子注入机


设备工作时真空系统、离子腔体、靶座、靶枪等部位均会产生高温,需要冷却装置对其进行控温,并维持在特定的温度范围内。


主要使用AL系列水冷式冷却水循环机。使用去离子水,因此与水接触的部位全部为不锈钢,不能出现铜,放在洁净间使用,对震动和噪音要求很高,因此一般为分体RG或水冷AL系列。


冰水(AL)系列水冷式冷水机是采用外部冷却水作为冷凝介质的一体化冷水机,水冷式冷水机比风冷式冷水机体积小、噪音低、无室内热量排放,是环境友好型冷水机,特别适合有工业冷却水管网或冷却塔,并对环境要求较高的客户选用。冰水(AL)系列冷水机,制冷量从5Kw到200KW,配置灵活齐全,能满足常规工业大部分客户的需求。


离子注入机冷水机



◎机组采用顶置不锈钢水槽,方便清洁,多级离心式不锈钢水泵,不锈钢或PPR管路,保证循环液清洁,能保护客户设备长期高效使用;

◎机组采用可拆卸面板,确保机组维护保养方便;

◎采用微电脑轻触式按键操作,双参数数字显示,便于用户了解系统运行情况;

◎具有多重保护系统,压缩机过热保护、过流保护、高低压力保护、相序/缺相保护、排气过热保护等;

◎可选配PID智能温控器,提高温控精度到±0.1℃;

◎可选配水质PP棉颗粒物过滤器及混床树脂离子过滤器,保证水质防止客户设备循环管路结垢,延长设备使用寿命。


冰水(AL)系列水冷式一体机适用于中大型工业设备:如真空镀膜机、X射线仪器、大功率激光器、真空炉、制药机械等。


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