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化学气相沉积设备配套冷水机实际应用

2019-09-27

化学气相沉积设备(VCD)是众多实验仪器中的一种,但只要仪器是在工作状态中,就不可以避免的会产生热量,如果不及时对这些热量进行处理,那么就会影响设备的使用效果,更严重的会缩短设备寿命造成损坏,这对于企业来说是很大的损失,这时候就需要配套化学气相沉积设备冷水机来进行制冷控温。


化学气相沉积是指利用物理过程实现物质转移,将原子或分子由源转移到基材表面上的过程,设备工作时,反应腔体、真空泵、等离子体、激光器等部位均会产生高温,需要冷却装置对其进行控温,并维持在特定的温度范围内。


化学气相沉积设备

给化学气相沉积设备选用冷水机根据需冷却部位的功率之和计算,主要使用AL系列水冷式冷却水循环机。使用去离子水,因此与水接触的部位全部为不锈钢,不能出现铜,放在洁净间使用,对震动和噪音要求很高,因此一般为分体RG或水冷AL系列。


AK系列冷水机是风冷一体化的中小型工业设备冷却配套制冷冷水机。AK系列中小型机采用前进风设计,方便冷凝器清扫,中型机器采用上出风模式,环境友好,换热效果好。人性化设计方便观察与参数设置,结构合理、配置灵活,是中小型工业设备制冷的理想配套伴侣。


化学气相沉积设备配套冷水机


◎采用立式结构,静电彩色喷塑,外形美观、体积小,配置可移动脚轮,方便不同场合使用

◎可拆卸前面板,方便清理冷凝器

◎采用优质不锈钢水泵,流量大、扬程高、噪音低、寿命长;

◎标配液位显示器与液位检测开关,可方便观察与监测水位液位及时补液;

◎可选配水质PP棉颗粒物过滤器、树脂离子过滤器,保证保障水质清洁达标;

◎多种规格的进出水接头可选择,方便与客户设备对接

◎可选多种形式的远程控制

◎具备多种报警保护功能:压缩机延时保护、压缩机过流保护


阿卡(AK)系列风冷一体机主要用于配套激光器、工业炉、注塑机、发酵反应罐、焊接切割机床、材料测试平台真空炉、真空镀膜设备等。


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