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冷水机配套物理气相沉积设备(PVD)的应用讲解

2019-09-24

不管是什么仪器设备,只要是做功状态就会产生热量,如果不将这部分热量散发掉,久而久之就会影响主设备的正常运行,拿物理气相沉积设备来说,在其工作的过程中同样也会因各种原因产生热量,这时候制冷控温就是非常重要的一件事情,用来保护主设备脆弱的的零部件让其安全运行,或者辅助主设备得到想要的结果,下面就为您介绍下物理气相沉积设备冷水机的实际配套应用。


物理气相沉积设备


物理气相沉积设备是在真空条件下,实现将材料源电离成离子,并在在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜技术的设备,设备工作时,阴极靶枪、真空泵、等离子体等部位均会产生高温,需要冷却装置对其进行控温,并维持在特定的温度范围内。



一般使用这种设备的用户都会选用AL系列水冷式冷却水循环机,因为使用去离子水,所以与水接触的部位全部为不锈钢,不能出现铜,放在洁净间使用,对震动和噪音要求很高,因此一般为分体RG或水冷AL系列。


同洲维普AL系列冷水机


同洲维普AL系列水冷式冷水机是采用外部冷却水作为冷凝介质的一体化冷水机,水冷式冷水机比风冷式冷水机体积小、噪音低、无室内热量排放,是环境友好型冷水机,特别适合有工业冷却水管网或冷却塔,并对环境要求较高的客户选用。冰水(AL)系列冷水机,制冷量从5Kw到200KW,配置灵活齐全,能满足常规工业大部分客户的需求,该设备主要特点如下:


◎机组采用顶置不锈钢水槽,方便清洁,多级离心式不锈钢水泵,不锈钢或PPR管路,保证循环液清洁,能保护客户设备长期高效使用;

◎机组采用可拆卸面板,确保机组维护保养方便;

◎采用微电脑轻触式按键操作,双参数数字显示,便于用户了解系统运行情况;

◎具有多重保护系统,压缩机过热保护、过流保护、高低压力保护、相序/缺相保护、排气过热保护等;

◎可选配PID智能温控器,提高温控精度到±0.1℃;

◎可选配水质PP棉颗粒物过滤器及混床树脂离子过滤器,保证水质防止客户设备循环管路结垢,延长设备使用寿命。


冰水(AL)系列水冷式一体机适用于中大型工业设备:如真空镀膜机、X射线仪器、大功率激光器、真空炉、制药机械等。


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