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半导体行业配套冷水机-单晶炉
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半导体行业配套冷水机-单晶炉

半导体行业配套冷水机-单晶炉

设备工作时,炉体、干锅、真空系统、等部位均会产生高温,需要冷却装置对其进行控温,并维持在特定的温度范围内。

应用描述

主设备原理:

单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。


配置说明:

根据整机电功率计算制冷量,具体请咨询销售工程师。

国外的单晶炉对水质要求较高,需要有水质软化装置,国内的单晶炉多使用冷却塔进行冷却,但控温效果不及冷却水循环机。如果使用冷却水循环机可以采用AK或AR系列。