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半导体行业配套冷水机-离子注入机
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半导体行业配套冷水机-离子注入机

设备工作时真空系统、离子腔体、靶座、靶枪等部位均会产生高温,需要冷却装置对其进行控温,并维持在特定的温度范围内。

应用描述

主设备原理:

离子注入机是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体材料的离子注入,或金属材料表面改性和制膜的设备。


配置说明:

根据需冷却部位的功率之和计算,具体可以联系销售工程师。主要使用AL系列水冷式冷却水循环机。使用去离子水,因此与水接触的部位全部为不锈钢,不能出现铜,放在洁净间使用,对震动和噪音要求很高,因此一般为分体RG或水冷AL系列。


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